国家知识产权局信息数据显现，浙江创芯集成电路有限公司获得一项名为“避免气体倒灌的管路结构及半导体制作设备”的专利，授权公告号CN223622714U，请求日期为2025年3月。专利摘要显现，本实用新型供给一种避免气体倒灌的管路结构及半导体制作设备，其间避免气体倒灌的管路结构包含：至少一个的气柜，所述气柜具有出气管路；主管路，所述出气管路衔接在所述主管路的一端上，所述主管路的别的一端与气体耗费端连通；单向阀坐落所述出气管路上，所述单向阀的出气口朝向所述主管路设置；经过在出气管路上设置单向阀，可以很好的避免当气体耗费端中止要气体的时分，气体不会倒灌到气柜内，避免了对气柜和管路的损害，一起经过在出气管路上设置单向阀，保证气体只能从气柜流向气体耗费端，来提高体系的安全性。

  天眼查资料显现，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，坐落杭州市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制作业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。经过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目269次，产业线条，此外企业还具有行政许可7个。

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